POWER RACK

제품기능상세
반도체 설비에 전원을 공급하기 위한 전원공급반

EFEM(Equipment Front End Module)

제품기능상세
반도체 Wafer를 이송하기 위한 자동화 모듈

GAS BOX

제품기능상세
반도체 공정 모듈에 GAS 및 UTILITY 공급을 위한 장치

CONTROL BOX

제품기능상세
반도체 처리장치에 공급되는 전력을 제어하는 장치

TCM RACK

제품기능상세
Furnace 장비에 전원 공급 및
Heater 제어를 위한 전원공급장치

Furnace Equipment

제품기능상세
Glass 표면 열처리 설비

M.T.D

제품기능상세
- 산업 현장에서 발생할 수 있는 화재 방지를 위한 솔루션

- 화재나 열에 의한 문제가 발생할 수 있는
파트의 온도를 실시간으로 측정하여 알람
및 전원 차단 기능을 제공하여 화재를
미연에 방지할 수 있음.